BWC DualVee?真空滾輪是一種90°精密研磨表面的線性導(dǎo)向軸承，適用于真空環(huán)境直線運動系統(tǒng)。這些滾輪由適用于真空環(huán)境的AISI440C和304不銹鋼以及油脂制成，能夠承受高達(dá)10-9 mbar的超高真空度?？砂惭b在AISI303DualVee?襯套上，并在90° AISI 420導(dǎo)軌上運行，單件導(dǎo)軌的長度可達(dá)20英尺（6米以上），提供兩種尺寸規(guī)格，徑向和軸向的最大承載能力分別為1855N和440N。潤滑脂為Lubcon Ultratherm 2000超高真空潤滑脂。

1. 采用高等級不銹鋼原材料

真空環(huán)境不允許使用任何多孔性材料，例如，樹脂、塑料和燒結(jié)材料等，這些多孔性材料在真空環(huán)境中會釋放出氣體。不銹鋼在真空環(huán)境中不會釋放氣體，是一種清潔和不具有腐蝕的原材料，適用于真空環(huán)境的高清潔度應(yīng)用要求。我們選用了高等級不銹鋼，在高溫工作環(huán)境下也不會軟化。

2. 表面淬硬

采用高等級不銹鋼為原材料，并且對于導(dǎo)軌和滾輪中的所有運動接觸面都進(jìn)行了精良的表面淬硬處理。這樣可以保證在運動的過程中不會產(chǎn)生疲勞剝落，防止破壞真空環(huán)境。

3. 滾輪特殊加工工藝

滾輪側(cè)面的緊固螺釘上加工了排氣通路，讓滾輪軸承內(nèi)部不存在可以殘留氣體的死角。這樣，在抽真空的時候，所有內(nèi)部的氣體，都可以通過緊固螺釘上的排氣通路被抽掉。

此外，六滾輪滑臺也是該產(chǎn)品的一個獨特的優(yōu)勢。在該類系統(tǒng)中，兩根導(dǎo)軌在一條直線上，但是沒有拼接在一起，導(dǎo)軌之間留有比較大的縫隙，六滾輪滑臺可以在這兩根導(dǎo)軌之間自由往返。這種設(shè)計使得往真空倉里運送零件非常容易，滑臺可以從真空倉外面的導(dǎo)軌平穩(wěn)過渡到真空倉內(nèi)的導(dǎo)軌上。由于兩根導(dǎo)軌之間有縫隙，這樣就可以把真空倉的門緊緊關(guān)上，實現(xiàn)氣密的目的。滾輪之間的距離稍微比導(dǎo)軌之間的縫隙大一些，這樣的話，滑臺經(jīng)過縫隙的時候，始終有兩組滾輪和導(dǎo)軌接觸，保證了滑臺的穩(wěn)定性和順利通過。

對于超高真空應(yīng)用環(huán)境，我們的不銹鋼滾輪導(dǎo)軌系統(tǒng)可以完全不需要潤滑而順暢運行。滾輪的直徑范圍為18-54mm，單個滾輪的承載能力為180-4200N。

主要應(yīng)用

半導(dǎo)體晶圓制造設(shè)備、航天零件加工設(shè)備、氣相沉積設(shè)備、LCD液晶板生產(chǎn)設(shè)備、真空蒸鍍系統(tǒng)等等